新方法製備二維半導體

作者🌎:攝影: 視頻: 來源:微電子學院發布時間:2023-11-01


二維半導體是集成電路工藝發展到1 nm節點最受關註的新路徑👨🏼‍🍳😂。929日,恒行2平台周鵬-包文中團隊取得重大研究進展🎄💃🏼,發明了一種面向集成電路製造的二維材料生長方法,能夠在工業界主流12英寸(300毫米)晶圓上進行均勻和單層材料的快速生長,相關成果發表於國際頂級期刊《自然·材料》(Nature Materials)。這項工作不僅提供了二維材料CVD生長的新思路,實現了從01的突破;同時也聚焦二維半導體的集成電路應用,充分考慮了規模-成本-性能(S-C-P)指標的協同優化🪣➿,著眼於從110的轉化🧤。


製圖🈴:實習編輯:責任編輯:

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