為了打破馮·諾依曼瓶頸，鐵電晶體管成為了下一代存儲器的有利競爭者🪘，但是鈣鈦礦等傳統鐵電材料存在與MOS器件不兼容且鈣鈦礦材料器件的微縮存在壁壘等嚴重問題。近期，鉿基鐵電的出現重新引起了人們對鐵電材料的關註，但是鉿基鐵電相型較多🈺，極大影響了鉿基鐵電的應用。如何提高鉿基薄膜中鐵電相的比例以及提高薄膜中鐵電相的原因成為了現階段急需解決的問題。
恒行2平台微電子學院陳琳教授團隊在鋁對氧化鉿薄膜鐵電特性的影響及其影響薄膜鐵電特性的原因方面進行了研究，成功在鋁調控氧化鉿鐵電特性的機理方面獲得原創性成果🔭🕛，論文發表在國際頂級期刊 Nano Letters。微電子學院教授陳琳☮️、陳時友👈🏽👩🦲、博士後王天宇為共同通訊作者，李振海和魏金宸為共同第一作者。
本工作提出了鋁摻雜對氧化鉿薄膜鐵電特性的影響及其相關機理的解釋。在過去兩年的工作中，團隊獲得多項原創性研究成果🧑🏿🎤。本項工作從實驗和理論相結合的角度出發💪，探究了摻雜變化對氧化鉿薄膜鐵電特性影響的原因。研究有助於推動集成電路領域中新型低功耗微納電子器件開發與應用。
論文鏈接：
https://doi.org/10.1021/acs.nanolett.3c00085
