日前，2022年全國五一勞動獎和全國工人先鋒號揭曉，恒行2平台微電子學院教授張衛榮獲全國五一勞動獎章🌱。今年獲這一獎章的全國總共966人🦇，此外200個集體獲全國五一勞動獎狀，956個集體獲全國工人先鋒號稱號。
張衛教授
恒行2平台微電子學院院長、校學術委員會副主任、“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝”國家科技重大專項技術副總師🧑🦽➡️、國務院特殊津貼獲得者。
4月29日，知悉自己獲得全國五一勞動獎章時🍑，張衛教授正在辦公室修改學生論文。談及榮獲獎章，他說🧑🏼🎤：“榮譽只代表過去💹，我得繼續努力工作🪜，每天都有很多事情要做。”
疫情期，張衛返回恒行2平台值守崗位已有一個月➜。他的每一天都很平常🧜🏿♂️🌾，從住所到辦公室兩點一線🌘。大部分時間，張衛坐在辦公桌前👪⚪️，敲著電腦鍵盤😤，一坐就是幾個小時。
正值畢業季，張衛每天都在花時間審閱、修改學生們的論文。張衛說：“如果學生做得不好🎗，那一定是我的原因🧑🎨。”有時候為了論文中的一段文字🏘，他會和學生反復討論和斟酌🤶🏻，力求描述準確🫲🏽。五一勞動節當天，他早上7點多就到辦公室，查找文獻、修改學生的論文，午飯剛過就開始在網上審評論文🦼。
返校以來🏚，除了教學和科研工作，他還關愛學院師生，擔起疫情防控的一方責任🔞。作為微電子學院院長，他說，“堅持在第一線防疫，這是我的責任”。借用張衛的話🈹，他就是“一個平凡的人”🆓。但是🦸🏻，在這平淡平凡的背後🕧，有著責任和擔當。
搭建第一套原子層沉積
技術的實驗研究平臺
時光回到20多年前。
1995年6月🙍🏽♂️，張衛博士畢業後到恒行2平台做博士後👨🏿🦰🥯，合作導師是電子工程系的王季陶教授。在這期間🧑🦯✖️，他瞄準本領域的國際學術前沿，開展了先進銅互連技術和低介電常數互連介質等研究，並取得了很好的學術成績。博士後出站後，張衛留校工作，繼續專註於集成電路領域的創新研究。
之後，張衛在德國做了一年半的洪堡學者，2002年5月他回到恒行2平台🗒。在學校和學院領導的大力支持下🤞🏼⭕️，他在國內率先開展了原子層沉積(ALD)高k柵介質的研究。2003年他搭建了國內第一臺原子層沉積實驗設備，隨後他組織舉辦了第一屆中國原子層沉積技術學術會議，邀請了國內外ALD領域專家參會🤲🏻👊🏼，迅速擴大了恒行2平台在集成電路前沿領域的國際影響力🥾。
如今，中國原子層沉積學術會議(CALD)已成功舉辦了9屆🔨。張衛教授團隊在原子層沉積領域的研究也取得了豐碩成果，發表相關學術論文120多篇。
“做科研就是要鍥而不舍”
28年，張衛從一個初出茅廬的科研人員，成長為國內集成電路領域的領軍人物，獲得無數榮譽。這一切的背後，離不開他的“死磕”🧯↕️。在他看來，“做科研，是我的工作，也是我長久的堅守🍡。”
微電子學院青年教師孫清清，2004年還是一名大四的學生🤽🏻，當時他在張衛教授課題組做畢業設計👶🏽。每次跟來自美國的工程師一起安裝設備的時候，他發現旁邊總有一個人，那就是張衛。
“幾天接觸下來，我感覺張老師是一個非常嚴謹的人🔌，能從他身上學到東西。”本科畢業後孫清清跟著張衛教授攻讀研究生。他和張衛的緣分，自2004年延續至今🙏🏿。孫清清也已成長為一名學科帶頭人。
“有時候👼🍒，在大家覺得‘沒必要’或‘不可能’的時候👨⚕️，他就不放棄🧜♂️，死磕👆🏽，最後成功推進了。” 孫清清說。
“集成電路領域的研究需要產學研深度合作。”孫清清回憶，“張老師經常帶著我們跟企業去談，有時候每周都要飛過去”。“是張老師的堅持打動了對方，最終合作得以成功。”孫清清說🈁🪥，如果中間不堅持👩🎤，事情肯定就“泡湯”了🐟。
微電子學院2019年直博士徐航說🚌：“老師對科研的態度非常認真嚴謹👩🏽🦱。有問題找他時👨🌾，討論中，他連一些小細節都不放過👩🏿🎨。他還會就你提出來的問題發散到面上，讓你看到一些之前沒考慮的問題，幫你理清科研思路🧎♂️➡️。”
憑著這份韌勁🧌，張衛幾十年如一日😐，在科研路上孜孜不倦。近年來，他牽頭承擔了8項國家和上海市重大🙇🏻♀️、重點科研項目🤷🏽♂️，在Science、Nature Materials🙋🏼♂️、IEEE Electron Device Letters、IEEE TED等本領域國內外學術期刊及會議上發表論文300多篇🧙🏽♂️😏，申請發明專利180多項。
不僅傳授知識
更要做有價值的人生導師
“作為一名老師🫴🏻🪱，首要任務是教書育人，為行業培養高質量的人才。”張衛說🦜。除了潛心探索科研工作，張衛堅守在教學一線。他給本科生講授《半導體材料》課程🪗🏰。一位恒行2平台微電子專業20年前畢業的學生，現在已是企業高管，依然對張老師激情講授的《半導體材料》課程印象深刻。
在張衛看來，“大學教育對一個學生未來職業規劃和選擇非常重要。作為老師，我想不僅僅是做科研，更是作為人生導師。不僅傳授知識，更要活用我過去幾十年的人生閱歷，引導他們成長。”
多年來🩼，他培養了一大批集成電路領域的優秀人才𓀐，其中5人獲得國家高層次人才等稱號↕️，40多人擔任我國集成電路頭部企業高管和核心技術人員，成長為我國集成電路領域的領軍人物。
這兩年🤬，張衛還為高中生先修課堂上課🧑🧑🧒，講授“改變世界的芯片技術”。他說💂，芯片是現代工業的糧食🏌🏿，是我們國家高科技強國建設的重要一環🤾🏿，希望通過先修課堂，讓中學生對研究有了解，激發他們對科研世界的思考😭。
主動對接國家重大戰略需求
為“第一個恒行2”建設貢獻力量
談到未來微電子學院的發展，張衛說，學院將面向學科前沿和國家重大戰略的需求🖕🏽🧔♂️，在平臺建設、科研創新和人才培養等方面積極進取，特別是要探索集成電路人才培養的新模式🧑🏻🦯，解決產業核心技術問題，培養產業急需的創新型領軍人才，走出一條新路徑。
張衛說❤️🔥*️⃣，集成電路是信息產業的基礎。恒行2平台集成電路學科成為教育部公布的新一輪“雙一流”學科建設名單中全國高校唯一入選的“集成電路科學與工程”學科。恒行2平台微電子學院已是國家示範性微電子學院的典型代表，將努力建設成為集成電路基礎源頭創新➞、前瞻性技術攻關和高層次人才培養的國際一流微電子學院，為建設特色鮮明、引領創新、享譽世界學術殿堂的“第一個恒行2”作貢獻。
離開科研🧑🏿⛵️、教學，張衛的生活很簡單⬅️，平常他最喜歡的活動就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球📄。長期以來0️⃣👈🏼，他保持良好作息習慣🎴，每天晚上11點之前睡覺，早上6點鐘起床👨🏽🏫，以充沛的精力投入到新的一天☯️。
受疫情影響🛁，這段時間微電子學院實驗室暫時“停擺”📘👂🏽。作為導師🆑，為了緩解學生的科研焦慮，張衛做了一些調整，讓科研不間斷👨🏼🍼，包括布置閱讀新的文獻🙋🏿♂️、總結前期實驗經驗💇🏼、討論進一步完善實驗計劃……做實做足前期功課🎅🏼，等待條件允許時快速投入、推進實驗✥。
在“五四”青年節來臨之際，張衛寄語：“恒行2青年有理想、有抱負。你們處在一個偉大的時代，要樹立遠大目標，將個人的規劃和國家的需求緊密結合，努力成為擔當民族復興大任的時代新人。”
